▲適用于與Inconel® 或 Inconel/ 不銹鋼相容的氣體
▲絕對壓力范圍:0~10 Torr 至0~1000Torr,
                               0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa
                               0~2 psia 至0~20psia,0~2 kpa 至0~100kpa
 
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介紹
       Setra Model 760 電容壓力計是為精確的、可重復的真空測量而設計的壓力傳感器。滿量程范圍從10Torr 到1000Torr。測量單位可以是Torr,mbar/hpa,kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是15VDC,輸出0~10VDC 或0~5VDC,輸出與壓力成線性關系,而且與氣體成分無關。電氣連接件可以是工業標準15 針D 型插座或6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和ESD 抑制元件以及輸入輸出的RFI 過濾等技術,Model 760 具有卓越的EMI/RFI 性能。Model 760 有一個完整的滑面,很容易提供有精確的零點調節和量程調節的多匝電位計。Inconel® 材質適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體,另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。Model 760 中高精度的壓力傳感元件Vactronsensor,是在Setra 專利技術可變電容傳感技術基礎上發展來的。在敏感元件中央有一個饋入裝置組件支持一個鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個低壓接近真空的空間內組成了一個可變電容。這一電容的變化被Setra 獨特的集成電路檢測并被轉換成高精度的線性直流信號,該集成電路是根據西特專利技術負荷平衡原理設計的。Model 760 采用革新的傳感設計獲得了卓越的零點穩定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了與陶瓷式結構相似的電容式壓力計。

Model 760 性能規范
 
性能參數
 
精度A ±0.25% of Reading
精度B ±0.15% of Reading
溫度影響
補償范圍0~+50℃(+32~+122oF)
零點偏移±0.005%FS/℃
滿程偏移±0.02
分辨率無限的,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS)
耐壓45 psia
時間常數<20ms

環境參數
 
溫度
工作溫度* 0~+50℃
存儲溫度-50~+125℃

應用
 
● 半導體過程工具和裝置
● 實驗室和研究開發
● 實驗和測量
● 度量
● 分析化學系統
 
特點
 
■ 卓越的熱穩定性
■ 出眾的EMI/RFI 性能
■ 低價位
■ 小巧緊湊的結構
■ 耐腐蝕的Inconel® 濕部件
■ 多種壓力連接和電氣連接方式
■ 符合CE 標準